พื้นที่ใช้งานสําหรับระบบท่อแก๊สความบริสุทธิ์สูง

โครงการนี้รวมอุตสาหกรรมเทคโนโลยีสูง เช่น เซมคอนดักเตอร์, วงจรบูรณาการ, จอจอแผ่น, ออปโตอิเล็กทรอนิกส์, รถยนต์, พลังงานใหม่, นาโน, ไฟเบอร์ออปติกส์, ไมโครอิเล็กทรอนิกส์,น้ํามันเคมี, การแพทย์ชีวภาพ, ห้องปฏิบัติการต่างๆ, สถาบันวิจัย, และการทดสอบมาตรฐาน, ฯลฯ

เทคโนโลยีท่อท่อก๊าซความบริสุทธิ์สูง

เทคโนโลยีท่อท่อก๊าซความบริสุทธิ์สูง เป็นส่วนสําคัญของระบบประปาก๊าซความบริสุทธิ์สูง และเป็นเทคโนโลยีที่สําคัญในการส่งก๊าซความบริสุทธิ์สูงไปยังจุดประปาที่ต้องการเทคโนโลยีท่อแก๊สความบริสุทธิ์สูงที่เรียกว่า รวมถึงการออกแบบระบบที่ถูกต้อง, การคัดเลือกของอุปกรณ์ประกอบและอุปกรณ์เสริม, การสร้างและการติดตั้ง, การทดสอบและ...

ประเภทของก๊าซทั่วไป

ก๊าซทั่วไปถูกแบ่งประเภทในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซทั่วไปเป็น: ก๊าซทั่วไป, ที่ยังรู้จักกันในชื่อก๊าซหลอด: ไฮโดรเจน (H2), ไนโตรเจน (N2), ไอน้ําออกซิเจน (O2),อาร์กอน (A2) และก๊าซพิเศษอื่น ๆ (ก๊าซพิเศษ) ส่วนใหญ่เป็นซิลิคอนเทตรคลอเรดโบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริด โบรอนฮีซฟลอริดโบอร์น เฮ็กซาฟลูอริดก๊าซพิเศษประเภทโดยปกติจะแบ่งเป็นก๊าซที่รุนแรง, ยาพิษ, ไฟไหม้, ไฟไหม้ที่ช่วย, อ่อนแอ, และอื่น ๆ

ก๊าซครึ่งประจุทั่วไปถูกแบ่งประเภท ดังนี้

(1) ธูปทาน/เป็นพิษ:กรดซัลโริคไฮโดร, BF3, WF6, HBr, silica, NH3, PH3, Cl2, Bcl 3, ฯลฯ

(ii) ความสามารถในการเผาไหม้ 3336H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, co. และอื่น ๆ

(3) ความสามารถในการเผาไหม้: O2, Cl2, N2O, NF3... เป็นต้น

(4) ก๊าซครึ่งประสาท เช่น ก๊าซเก่ง CF4, C2F6, C4F8, CO2, นีออน, ไครปตอง, เฮลียม...

โดยเฉพาะอย่างยิ่ง ก๊าซบางชนิด เช่น SiH4 มีคุณสมบัติของการเผาไหม้โดยเฉพาะตัว เมื่อมีการรั่วไหลมันจะปฏิกิริยาอย่างรุนแรงกับออกซิเจนในอากาศและเริ่มเผาไหม้การรั่วไหลเล็ก ๆ น้อย ๆ อาจทําลายชีวิตคนเนื่องจากอันตรายที่ชัดเจนเหล่านี้ ความต้องการความปลอดภัยในการออกแบบระบบสูงมาก

ระบบท่อแก๊สอิเล็กทรอนิกส์พิเศษ